【TechWeb】5月27日消息，盛美上海推出升级版的涂胶设备，该款设备在性能和外观进行了优化，应用于先进晶圆级封装。该涂胶设备兼容200mm和300mm晶圆，可执行晶圆级封装光刻工艺的关键步骤，如光刻胶和Polyimide涂布、软烤；还可[全文]

◎科技日报记者 华凌“5月25日0时至24时，北京市新增本土新冠肺炎病毒感染者45例（含2例无症状感染者转确诊病例），丰台区20例，海淀区10例，东城区4例，西城区、石景山区、房山区各3例，大兴区、通州区各1例；普通型1例、轻型35例、无症[全文]